源达：大陆晶圆厂有望逆势扩产，国产设备厂商加速进步
来源：源达
大陆晶圆厂有望逆势扩产，国产设备厂商加速进步
——半导体设备专题研究系列一
(资料图片仅供参考)
投资要点
➢ 半导体行业景气度有望回升，美日荷制裁推动设备国产化
2023年半导体行业有望走完去库存阶段，在2024年进入景气度回升通道。根 据SEMI预测，2023/2024年全球半导体设备行业市场规模为874/1000亿美 元，同比-19%/+14%。2022年起美日荷陆续发布对华设备出口管制措施， 半导体设备国产化迫在眉睫，而大陆晶圆厂有望逆势扩张带动设备资本开支。
➢ 光刻机是最核心的制程设备，国产替代迫在眉睫
ASML在全球市场中一家独大，2022年ASML供给了全球95%的高端光刻机 （ArF、ArFi、EUV）。2023年6月30日荷兰对华管制措施落地，2000i以下 的浸没式光刻机出口不受限制。根据ASML公告，2023年H1对中国大陆设备 销售收入为17.71亿欧元，同比增长49%，全年对华销售收入预期有望上调， 凸显大陆晶圆厂对光刻机的需求旺盛。目前光刻机国产化率几乎为零，上海 微电子是目前最有望打破光刻机进口垄断的国产公司，公司已具有 90nmDUV光刻机产品，并正在进行28nm浸没式光刻机的研发工作。 ➢ 美日荷垄断半导体设备市场，国产厂商加速进步 全球半导体设备市场被美日荷垄断。近年来国产设备厂商在热处理、薄膜沉 积、刻蚀和清洗等环节不断取得突破。目前清洗和热处理设备的国产率已达 到较高水平。薄膜沉积、刻蚀和CMP设备的国产化率正在快速提升。涂胶显 影和过程控制设备是国产设备的薄弱环节，在走完“0-1突破”后有望加快放 量。
➢ 投资建议
1）建议关注在多制程环节布局的平台型公司，未来将与国内半导体设备行业 共同成长。如：北方华创、中微公司、盛美上海等。 2）建议关注国产化率有望快速提升的细分领域龙头。如：CVD设备龙头拓荆 科技、CMP设备龙头华海清科等。 3）建议关注卡位半导体设备薄弱环节，走完或即将走完“0到1“阶段，有望 迎来快速放量的公司。如：芯源微、精测电子、中科飞测等。
➢ 风险提示
国际政治动荡和摩擦加剧；国内芯片产能扩产不及预期；设备国产化导入不 及预期；半导体设备行业竞争格局恶化。
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